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激光干涉儀以光波為載體，具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、 高測速下分辨率高等特點，其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)。因此，激光干涉儀廣泛應(yīng)用于數(shù)控機床、PCB鉆孔機、坐標(biāo)測量機、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制與校準(zhǔn)以及科研開發(fā)、 設(shè)備制造等領(lǐng)域。
激光干涉儀的工作原理
激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束，光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡， 重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒有變化時，激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。
當(dāng)高壓連接在陽極和陰極之間時，混合氣體被激發(fā)，形成激光光束，通過放大激光光強使一些光透射出來成為輸出激光光束。其中，為實現(xiàn)平衡狀態(tài)，通過加熱器控制激光管長度讓激光穩(wěn)頻的精度保持在±0.05ppm以內(nèi)，此時穩(wěn)定輸出后，激光器即可進行干涉測量。如今大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管，這些激光管具有633納米的波長輸出。
激光器的頻率、功率、穩(wěn)定性、可靠性、光束質(zhì)量及壽命等指標(biāo)參數(shù)，都關(guān)系著激光干涉儀的最終性能。其中激光頻率是激光干涉儀 基本的參數(shù)，其頻率(波長)的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性是激光干涉儀測量精度的保證。
激光干涉儀的用途
1、直線度測量
激光干涉儀的直線度測量有兩個鏡組：測量短程從0.1m至4m及測量長程從1m至30m。就短程而言，距離指的是直線度干涉鏡和直線度反射鏡之間的距離，即可被測試的軸長。就長程而言，距離指的是激光頭和直線度反射鏡之間的距離。這兩種情況下，激光干涉儀直線度測量的量程都是±2.5mm。直線度干涉鏡和反射鏡互相匹配成對。因此，不能與其它直線度工具交換要件。每一個直線度干涉鏡和反射鏡都標(biāo)明獨立的序號。
①沿水平軸直線度測量
水平軸直線度檢測，將直線度干涉鏡安裝在激光干涉儀的激光器和直線度反射鏡之間。激光器發(fā)射出來的光束將穿過直線度干涉鏡，此時，光束將被分成兩束相同頻率的光源，通過直線度反射鏡，將兩束激光反射匯聚到干涉鏡，在返回激光器。通過移動直線度反射鏡，兩束相同光源的光將會發(fā)生干涉。激光器將檢測干涉的光波，來確定在直線度干涉鏡移動的方向上，會產(chǎn)生多少大的偏差。并記錄下偏差值，以供設(shè)備安裝調(diào)試使用。
②沿垂直軸直線度測量
垂直軸直線度檢測，將引入垂直轉(zhuǎn)向鏡，將激光干涉儀水平光束轉(zhuǎn)換成垂直光束，檢測原理與水平軸直線度檢測相同。
2、線性測量
激光干涉儀的線性測量可以檢測機床軸的多項精度指標(biāo)，其中包括定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙等。用于線性測量的鏡組包括兩個線性反射鏡和一個線性分光鏡。
激光干涉儀要設(shè)置線性測量，將一個線性反射鏡連接到具有兩個緊螺紋的分光鏡上。這個組合要件被稱為“線性干涉鏡”，可以作為激光束的參考路徑。線性干涉鏡位于激光器和線性反射鏡之間的光束路徑，激光器的光束會射入線性干涉鏡，再分為兩道光束。一道光束(稱為參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡。這兩道光束回再反射回分光鏡，重新匯聚之后返回激光頭，其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束間的干涉。
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